產品資訊 - VMB, Purifier, Valve, Fitting, MFC, Wafer Sensor, LED

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JPC

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Purifier
 
 

Purifier

 
產品廠牌:JPC
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產品說明:

  氣體純化器設備,主要應用於高科技產業的超高純度制程氣體供應、或一般應用氣體之純淨氣體設備,可提高及確保氣體應用於制程品質良率,提高生產效能。
  BULK GAS(大宗氣體)中具代表性的不純物是H2、N2、O2、HC(HYDROCARBON 碳氫化合物) CO、CO2、H2O等。要除去這些不純物的精製法,視基礎氣體的性質以及必要的純度不同而有幾種方法可以選擇。

純化器常用方法:

1﹒PALLADIUM  ALLOY  MEMBRANE TYPE(擴散滲透)

                精製原理: H2 氣體使鈀合金膜中的PROTON(質子)與ELECTRON
                                     (電子)分離,並依擴散效果達到滲透。在這過程中,由於只產生H2 GAS,
                                      所以其他的不純物質無法滲透。結果,只能選擇性的H2 GAS達到滲透,因
                                      而得到高純度的H2 GAS。

 

2﹒CRYOGENIC  ADSORPTION  TYPE(超低溫吸附)

           精製原理:利用液態氮來當做冷熱源,使溫度降至-196°C的,超低溫吸附
                               塔,可以除去He、Ne等低沸點物質以外的不純物。

 

3﹒GETTER  TYPE(化學吸附)

           精製原理:利用加熱的鋯合金化學反應桶上的化學反應可完全除去RARE
                               GAS以外的不純物。

 

4﹒ADSORPTION  TYPE (室溫吸附)

                 精製原理:室溫下的PURIFIER是用CATALYST(催化劑)及DSORBENT(吸
                                     附劑)來進行精製工程。

 

 
 
 
Scrubber
 
 
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