產品資訊 - VMB, Purifier, Valve, Fitting, MFC, Wafer Sensor, LED

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Mass Flow Controller
 
 

Mass Flow Controller

 
產品廠牌:HORIBA STEC
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產品說明:

質量流量控制器(MFC)是一種流量計與控制閥組的精密機電組合,利用非接觸式的流量感測器來測量氣體的質量流量並做自動閉迴路(Feedback control)的流量控制。

主要是由本體(Block)、分流器(Flow-Splitter或Bypass)、質流感測器(Sensor)、閉迴路控制電路板(PCB)以及一控制閥組(Control Valve)所構成。
在氣體進入MFC時,由感測器測量出實際的流量之後,與先前輸入CPU的設定值相比較,假若測得的流量低於設定值,MFC內部的控制閥將適度的開啟使流量增加;反之,控制閥則略為閉合以減少流量,如此一來MFC便可以自動調節至所需的流量,即為一高控制性之質量流量控制器。
 

質量流量控制器是半導體製造設備中非常關鍵的零件,它的工作穩定與否往往成為半導體製程成敗的關鍵因素。

 相對於舊有的型號,Z500X 系列實現了全新的突破,而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時,實現了可變氣體、可變流量的轉換。客戶可以根據製程需要,輕鬆地更改氣體種類和流量。

 此外,藉由產品材料的技術革新,Z500系列全面滿足了RoHS 綠色產品的設計要求,為客戶提升產品價值。

 高性能的Z500系列流量計特色
高精度:設定流量值±1.0%.
 高速反應:SEC-Z500X使用了最新開發的“可更改PID”系統,任意兩個設定流量點之間的更改可在1秒鐘之內完成,在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整。
 可變氣體、可變流量方案:客戶可輕鬆地在現場更改氣體種類和流量,Z500軟體操作簡單,甚至不需要將MFC從機台上拆卸下來。如此一來,大幅減少客戶備品的數量,同時節省了時間和成本。

    

SEC-Z700壓力不敏感式質量流量控制器系列,即使在上游和下游壓力變化影響的情況下也可以提供穩定的流量控制。

標準的氣體系統設有調壓閥,壓力傳感器和過濾器來避免壓力影響對流量控制的干擾。新型號的質量流量控制器,SEC-Z700系列,可以不受上游和下游壓力的影響,提供高穩定性的流量控制,不僅可以提供流量輸出,還可以讀取溫度和壓力數據,並可以通過RS-485和DeviceNet的數位通信控制。

 特色
 可變氣體可變流量功能:氣體種類和全流量可以由客戶更改
 一秒內可變PID功能提供全流量範圍高速反應時間
 不需要調壓閥,壓力傳感器和過濾器
 穩定氣體流量控制,不受上游和下游壓力變化的影響
 提供進氣端壓力訊號顯示
1%設定流量精度保證
 超潔淨設計:金屬密封圈,所有都是SUS-316L不銹鋼,並且經表面拋光
 信號兼容-RS485/DeviceNet/類比訊號傳輸

   

新概念式質量流量控制模組CRITERION D200系列,利用壓差量測方式,提供更精確流量量測及更廣大範圍的流量控制。內含32位元中央處理器,快速邏輯運算,溫度變化、壓力變化、流量變化的3D運算模式,提供更精準流量量測控制。

3顆壓力感應器、1顆溫度感應器,提供質量模組更正確的數據。

特色
 含蓋大流量小流量控制範圍
 自我檢測功能
 進氣壓力不敏感式感測器
 一秒內可變PID功能提供全流量範圍高速反應時間
1%設定流量精度保證

 

 

 
 
 
 
 
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