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氣體質量流量控制器 HORIBA STEC

產品廠牌:HORIBA STEC

產品說明

CRITERION D500

壓力不敏感型高性能品質流量控制器

壓力不敏感性

高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統

多量程,多氣體,多種壓力的解決方案

新功能可供客戶需其改變氣體種類、滿量程內的流量,供應壓力範圍

高精度

three-dimensional改進製程氣體的流量精度

快速回應

回應速度<0.8秒
精準且穩定的流量控制

控制範圍

控制範圍:0.2% F.S. ~ 100% F.S.

 

SEC-Z700

SEC-Z700X系列配備熱式感測器且具有壓力不敏感性以實現穩定流量控制的氣體品質流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統的成本,尺寸及複雜度。

多種氣體/多種流量程解決方案

客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現整個範圍內的高速回應(1秒內)

穩定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓感測器

確保 1% S.P.的精度

信號相容

類比式/RS485 數位式 , DeviceNet™模式

 

SEC-Z500

包含多種氣體/多種流量程功能以實現自由快速更改氣體種類滿足製程。高精度± 1.0% S.P.,快速回應,有效提高良率及簡化備件管理。

高精度±1.0% S.P.

HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現所有量程上的高精度。為了更真實的反應實際氣體精度,HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體並創建了針對不同氣體的校正資料,建立標準氣體管理系統,實現真實氣體精度確認。

可變PID功能實現整個範圍內的高速回應裝載

多氣體,多量程解決方案

HORIBA的配置軟體可簡單快速的更改MFC的規格。更好的是MFC的規格改變不需從設備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求,極大減少時間和成本的浪费。