ガスモニタリングシステムは半導体工場にとって重要な人身の安全に係わるシステムです。ほとんどの半導体メーカーは、健康と生命の安全に影響する様々なガスを使っており、ガス供給の安全性は作業員の健康のみならず、工場運営上の安全性にも係わります。
ガスモニタリングシステムはリアルタイム監視PCとPLC（プラグラマブルロジックコントローラ）をイーサネットで連接し、検知器のデータやガス供給設備の状態といった情報を収集し、ただちに中央制御室にフィードバックして、異常があれば、スタッフが即座に対処して、人の安全を確保し、工場の定常の運転を維持できます。