半導体の製造工程では様々な薬品が使われており、工場管理の酸供給システムを通して供給、輸送されます。薬品そのものは、腐食性、毒性、可燃性といった特徴をもつ危険な液体であり、いかにして安全かつ安定して供給するかが供給システムのポイントです。tpcの薬品供給システムには以下の特長があります。
1. 安全性 – すべての貯蔵容器はと輸送管路閉ループ型で、それぞれの薬品の特性に合わせて材料を選び、可燃性の有機液体に対しては、火災探知消火システムと除電装置を配備するとともに、各要素によって、防爆認証を選択します。
2. 安定性 – すべてのユニットは実績のあるメーカーを選び、耐圧と運転モードのニーズによって最適の型式を選定するとともに、後続のメンテナンスを提供しています。
3. クリーン度 – お客様の製造工程ニーズに対応し、スペックに適合するULPA、フィルター、フィッティングといった供給設備を選ぶとともに、検知装置を配備します。
4. 統合性 – PLCはメーカーごとに、専門のプログラマーによって書き込まれたおり、お客様のニーズに合ったメーカーを選ぶとともに、中央管理システム専門のプログラマーが化学供給システムと工場管理の中央制御システムをシームレスに統合します。
5. 設備品質 – tpcは設備製造のための自社工場を有しており、すべての設備はSOPに従う形で製造され、クリーンルームで組立して、設備の品質一致性を確保しています。
6. 経験豊富なスタッフ – tpcの化学供給システムエンジニアは作業経験も豊富で、お客様のプロジェクトごとに最適の責任者を指名し、顧客のニーズに合わせて設計、企画を行います。
7. サポート – tpcは薬品用バルブを自社生産しており、緊急在庫システムを確立しているので、お客様の緊急時に最適のサポート業務を提供できます。