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化學供應系統 Chemical Dispense System

產品說明

高科技廠房
化學供應系統 Chemical Dispense System

半導體製程中須使用各項化學藥品,化學藥品之供應與輸送即由廠務中央供酸系統供應與傳送,化學藥品本身為危險性液體,具有腐蝕性、毒性、易燃性等各項特點,如何安全穩定的供應是供應系統之要點,tpc所建置之化學系統有以下特點。

1.安全性 – 所有儲存容器與輸送管線皆為密閉式,材料選用符合各項化學藥品之特性,針對易燃有機液體,建置即時滅火偵測系統與靜電消除設計,並且各項元件選用符合防爆認證產品。

2.穩定性 – 所有元件選用皆具有實績之品牌,並針對耐壓與運轉模式挑選適合之型號,並提供後續保養維護服務。

3.潔淨度 – 因應客戶製程需求,設計符合客戶spec之供應設備,包含ULPA、filter、fitting之選用,並備有檢測儀器可供服務。

4.整合性 – 各廠牌PLC皆有專業人員程式撰寫,能依客戶要求選用廠牌,並有專門中央監控程式撰寫人員,對於化學系統與廠務中央監控系統能無縫整合。

5.設備品質 – tpc自有設備標準製造廠房,所有設備製造皆遵循SOP,並在無塵室製造組裝,能維持設備品質穩定。

6.人員經驗 – tpc之化學供應系統工程師皆有一定年資工作經驗,針對客戶專案能指派合適之人員負責,並提供客戶各項需求之設計與規劃。

7.後循支援 – tpc具有自有品牌之各式藥液閥件,並建有備料系統,針對客戶緊急狀況能給予妥善之支援服務。