旋轉塗佈機、顯影機、蝕刻機與AOI檢測的設備。晶圓尺寸包含4"、6"、8"、3~6"方片…等等，並持續投入更高階與更多元的設備開發，目前設備應用於mini LED、晶圓製造、封裝、光電產業。另外，自主開發的AOI設備，主要應用於晶圓檢測、PCB的3D圖型量測與缺陷檢測。
