產品資訊

產品資訊

代理經銷
廠務系統工程
設備製造OEM/ODM
醫材開發製造
廠務系統工程

特氣分流閥箱/盤 _VMB/P

產品廠牌:tpc

產品說明

特氣分流閥箱/盤 VALVE MANIFOLD BOX /PANEL,簡稱 VMB/VMP。為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計,主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。

特氣分流器(閥組)VMB 是將特殊氣體安全並安定的供應給半導體生產設備上的裝置。氣體之箱體平時保持負壓排氣,萬一在箱體內氣體盤面產生洩漏時,因有安全的排氣銜接至Scrubber,所以不會洩漏到箱體外部,也因此能夠防止人體吸入、爆炸火災等的災害的發生。VMB  一般設置在無塵室內,將由氣瓶櫃或大流量氣體分流箱,供給來的半導體材料氣體,加以分岐後,供應給制程裝置機台。另外,在VMB 上也裝設了有 N2 Purge Line 使更換元件更安全,並可依客戶需求安裝UVIR,溫度警報,灑水頭等機能。