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氣體純化器
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氣體純化器設備，主要應用於高科技產業的超高純度制程氣體供應、或一般應用氣體之純淨氣體設備，可提高及確保氣體應用於制程品質良率，提高生產效能。
產品廠牌
Air Water Mechatronics Inc.
氣體純化器設備，主要應用於高科技產業的超高純度制程氣體供應、或一般應用氣體之純淨氣體設備，可提高及確保氣體應用於制程品質良率，提高生產效能。
BULK GAS（大宗氣體）中具代表性的不純物是H2、N2、O2、HC（HYDROCARBON 碳氫化合物）CO、CO2、H2O等。要除去這些不純物的精製法，視基礎氣體的性質以及必要的純度不同而有幾種方法可以選擇。
純化器常用方法：
- PALLADIUM ALLOY MEMBRANE TYPE（擴散滲透）
精製原理： H2 氣體使鈀合金膜中的PROTON（質子）與ELECTRON（電子）分離，並依擴散效果達到滲透。在這過程中，由於只產生H2 GAS，所以其他的不純物質無法滲透。結果，只能選擇性的H2 GAS達到滲透，因而得到高純度的H2 GAS。 - CRYOGENIC ADSORPTION TYPE（超低溫吸附）
精製原理：利用液態氮來當做冷熱源，使溫度降至-196°C的，超低溫吸附塔，可以除去He、Ne等低沸點物質以外的不純物。 - GETTER TYPE（化學吸附）
精製原理：利用加熱的鋯合金化學反應桶上的化學反應可完全除去RARE GAS以外的不純物。 - ADSORPTION TYPE（室溫吸附）
精製原理：室溫下的PURIFIER是用CATALYST（催化劑）及DSORBENT（吸附劑）來進行精製工程。
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