設備開發

設備製造OEM/ODM

旋轉塗佈機、顯影機、蝕刻機與AOI檢測的設備。尺寸適用於晶圓 12"/8"/6" 及光罩 6"/7"/5" 等方片尺寸。設備應用於邏輯/類比/功率元件之IC晶圓製造與封裝、 micro LED、color filters 等產業。

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