產品資訊
化學供應系統 Chemical Dispense System
廠務系統工程
高科技廠房
化學供應系統 Chemical Dispense System
半導體製程中須使用各項化學藥品，化學藥品之供應與輸送即由廠務中央供酸系統供應與傳送，化學藥品本身為危險性液體，具有腐蝕性、毒性、易燃性等各項特點，如何安全穩定的供應是供應系統之要點，tpc所建置之化學系統有以下特點。
- 安全性
所有儲存容器與輸送管線皆為密閉式，材料選用符合各項化學藥品之特性，針對易燃有機液體，建置即時滅火偵測系統與靜電消除設計，並且各項元件選用符合防爆認證產品。 - 穩定性
所有元件選用皆具有實績之品牌，並針對耐壓與運轉模式挑選適合之型號，並提供後續保養維護服務。 - 潔淨度
因應客戶製程需求，設計符合客戶spec之供應設備，包含ULPA、filter、fitting之選用，並備有檢測儀器可供服務。 - 整合性
各廠牌PLC皆有專業人員程式撰寫，能依客戶要求選用廠牌，並有專門中央監控程式撰寫人員，對於化學系統與廠務中央監控系統能無縫整合。 - 設備品質
tpc自有設備標準製造廠房，所有設備製造皆遵循SOP，並在無塵室製造組裝，能維持設備品質穩定。 - 人員經驗
tpc之化學供應系統工程師皆有一定年資工作經驗，針對客戶專案能指派合適之人員負責，並提供客戶各項需求之設計與規劃。 - 後循支援
tpc具有自有品牌之各式藥液閥件，並建有備料系統，針對客戶緊急狀況能給予妥善之支援服務。
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