產品資訊
特氣分流閥箱（盤）VMB/VMP
廠務系統工程
產品廠牌
TPC
特氣分流閥箱（盤）Valve Manifold Box/Panel，簡稱VMB/VMP。為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計，主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路，調整壓力及流量後，分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。
特氣分流器（閥組）VMB是將特殊氣體安全並安定的供應給半導體生產設備上的裝置。氣體之箱體平時保持負壓排氣，萬一在箱體內氣體盤面產生洩漏時，因有安全的排氣銜接至Scrubber，所以不會洩漏到箱體外部，也因此能夠防止人體吸入、爆炸火災等的災害的發生。VMB一般設置在無塵室內，將氣瓶櫃或大流量氣體分流箱供給來的半導體材料氣體區隔開來後，供應給製程裝置機台。另外，在VMB上也裝設了有N2 Purge Line使更換元件更安全，並可依客戶需求安裝UVIR，溫度警報、灑水頭等機能。
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